第100节(第3/3 页)
最新玄幻小说小说：
飘渺末世录、
蒙尘珠、
[咒回同人] 肝露谷，但咒高物语、
[综武侠] 搞事，搞事、
变天了、
柳叶刀与尖头锤战斗艺术、
[以身为饵]冥王深陷反派温柔乡、
高武，我每月都能随机到极品命格、
猫猫崽努力碰瓷人鱼、
雌君的白月光竟是我自己、
穿书女频：女主恨我，女二虐待我、
大师兄选择去修无情道、
高武大秦：每日签到，我成神了、
第九峰主、
长生：从符篆开始、
魔窟不需要我守？那我走后你哭啥、
乾元祭、
遮天大帝在封神、
神瞳传、
签到成圣：玄幻大陆最强关系户、
化才能实现理想的光刻分辨率。
套刻精度与光刻分辨率相?关，直接受其影响。
至于产能，则与光源系统的稳定相?关。
以上是?对激光器的要求，相?对整个?光源系统的技术要求不?算高，系统工程程序中最难的步骤是?光的收集。
收集难度大，转化效率也低。
雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计算：“所需的极紫外光必须在真空下进?行?反射，不?能被折射，因?为它非常容易被吸收。真空腔内的反射镜需要特殊镀膜，把这束光，从光源一路引导到晶圆……经过十几?次反射，最终剩下的光线不?到2！”
围观过来的研发部成员倒吸一口凉气，虽早知光源转化率低，但听?到这数字还是?低得让他们心疼。
光源转化率低就意味着能量的巨大消耗，最直观的例子，一台euv机器输出功率两百瓦左右，工作一天，耗电三?万度。
光线利用率不?到2已经是?优化其他性能所能够得到的最佳数据，决定该性能优化的决定性关键就是?反射镜的精度。
“精度必须以皮秒来计算。”
本章未完，请点击下一章继续阅读！若浏览器显示没有新章节了，请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单，退出阅读模式即可，谢谢！
本章未完，点击下一页继续。